Lamináris fülke + zsilip Transzfer cső (MECATRANS) Előkészítő kamra + UHV szállítókamra

 

Növesztő kamra

 2 elektronágyú, egyenként 4 tégellyel, 4 K-cella, QMS, RHEED

 2006-ban számítógépes növesztés-vezérléssel, 2007-ben zártkörű vízhűtővel, 2008-ban egy molekuláris gázforrással lett bővítve a rendszer.

Csoportok: