Magyar
English |
 |
 |
 |
| Lamináris fülke + zsilip | Transzfer cső (MECATRANS) | Előkészítő kamra + UHV szállítókamra |
Növesztő kamra • 2 elektronágyú, egyenként 4 tégellyel, 4 K-cella, QMS, RHEED
|
2006-ban számítógépes növesztés-vezérléssel, 2007-ben zártkörű vízhűtővel, 2008-ban egy molekuláris gázforrással lett bővítve a rendszer.
Csoportok: