RMKI molekulanyaláb epitaxia berendezése

Csoportok:

A MECA-2000 gyártmányú molekulanyaláb epitaxia (MBE) berendezés 2003. októbere óta üzemel.

Csoportok:
Lamináris fülke + zsilip Transzfer cső (MECATRANS) Előkészítő kamra + UHV szállítókamra

 

Növesztő kamra

 2 elektronágyú, egyenként 4 tégellyel, 4 K-cella, QMS, RHEED

 2006-ban számítógépes növesztés-vezérléssel, 2007-ben zártkörű vízhűtővel, 2008-ban egy molekuláris gázforrással lett bővítve a rendszer.

Csoportok:

Anyagkiosztás

 

 

Az 1-es elektronágyúból növeszthető anyagok:
Cu
Cr
Pt
Pd
A 2-es elektronágyúból növeszthető anyagok:
Ni
Co
V
Fe
A K-cellákból növeszthető anyagok
Ag
Al
57Fe
Au
62Ni
 

 

Csoportok: