Magyar
EnglishRMKI molekulanyaláb epitaxia berendezése
Csoportok:
A MECA-2000 gyártmányú molekulanyaláb epitaxia (MBE) berendezés 2003. októbere óta üzemel.
Csoportok:
 |
 |
 |
 |
| Lamináris fülke + zsilip | Transzfer cső (MECATRANS) | Előkészítő kamra + UHV szállítókamra |
Növesztő kamra • 2 elektronágyú, egyenként 4 tégellyel, 4 K-cella, QMS, RHEED
|
2006-ban számítógépes növesztés-vezérléssel, 2007-ben zártkörű vízhűtővel, 2008-ban egy molekuláris gázforrással lett bővítve a rendszer.
Csoportok:
Anyagkiosztás
Az 1-es elektronágyúból növeszthető anyagok:
 |
 |
 |
 |
|
Cu
|
Cr
|
Pt
|
Pd
|
A 2-es elektronágyúból növeszthető anyagok:
 |
 |
 |
 |
|
Ni
|
Co
|
V
|
Fe
|
A K-cellákból növeszthető anyagok
 |
 |
|
 |
 |
|
Ag
|
Al
|
57Fe
|
Au
|
62Ni
|
Csoportok: